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武漢三工精密設備制造有限公司

主營:激光調阻機,激光打標機,ITO激光刻蝕機,FPC柔性電路板激光切割機,陶瓷劃線機
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[供應]晶圓薄膜電阻修調機特性
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  • 更新日期:2014-06-01 11:22:09
  • 有效期至:2015-06-01
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晶圓薄膜電阻修調機特性 詳細信息

LT7130激光調阻機 

 

設備特點


 

?調阻效率高:調阻速度相對國內其它激光調阻產品高出4-10倍,產能大大提升,單位成本下降。

?調阻精度高:獨特的測控技術,測量控制系統精度的一致性好,提升產品附加值;成品率高,單位成本下降。

?軟件可編程:可輕松實現客戶的不同需求以及高自動化運行,也可作為專門的測試平臺,適應性廣。

?使用成本低:采用了最先進的激光器,無耗材,使用成本最低,長期使用節約大量的費用。

?多功能:可實現陶瓷基片的激光劃線、打標,減少設備的再投入。

?專業大理石基座,可有效減小工作臺啟動、停止和加速過程中產生的震動,同時保持機臺溫度的穩定性,可靠性高。

 

主要技術參數


 

激光系統

型號規格

LT7130

激光波長

1064nm

激光功率

10W

典型光斑尺寸

35±5μm

對焦方式

自動,計算機程序控制

冷卻方式

風冷

激光束定位系統

激光束運動范圍

60mm  X  60mm

運動分辨率

0.76μm

重復定位精度

±2.5μm

分步重復運動系統

運動方式

空氣懸浮運動,無摩擦力

運動范圍

290mm*260mm

重復定位精度

±2μm

最大運動速度(空載)

900mm/s

測量系統

電阻測量方式

四線制測量或二線制測量

電阻測量精度

中阻0.02%

電阻測量范圍

0.1Ω-100MΩ

測量速度

25μs/次

零點及滿程誤差校正

自動校正

探針定義

可編程任意設定

探針板運動

自動,計算機程序控制

 

聯系人:程工

手機:15671696608

座機:027-59721015

傳真:027-

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