配有雙數字表： 一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全過程中的電流變化，使操作更簡便，測量更精確。
數字電壓表量程：0—199.99mV 
靈敏度：10μV
輸入阻抗：1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度)
可測電阻率范圍：10—4 —1.9×104Ω·cm
可測方塊電阻范圍：10—3 —1.9×105Ω/□。
設有電壓表自動復零功能，當四探針頭1、4 探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、4 探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3 探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。
流經硅料的測量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機測量精度＜3%。電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
儀器采用觸點電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器（＞10 萬次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
加配軟件配電腦使用，實現(xiàn)自動換向測量、求平均值，計算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內容。
四探針頭采用國際上先進的紅寶石軸套導向結構，使探針的游移率減小，測量重復性提高（國家知識產權局已于2005.02.02 授予專利權，專利號：ZL03274755.1）。