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[供應]深圳威固特多晶硅超聲波清洗機
- 產品產地:深圳市龍華新區大浪街道華昌路鴻源工業區E棟一樓
- 產品品牌:威固特
- 包裝規格:VGT-15204FST
- 產品數量:2
- 計量單位:套
- 產品單價:0
- 更新日期:2018-07-22 08:42:18
- 有效期至:2019-07-22
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深圳威固特多晶硅超聲波清洗機
詳細信息
型號:VGT-15204FST
產品特點
1、械手或多機械手組合,實現工位工藝要求。
2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。
3、自動上下料臺,準確上卸工件。
4、凈化烘干槽,獨特的烘干前處理技術,工作干燥無水漬。
5、全封閉外殼與抽風系統,確保良好工作環境。
6、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。
7、全封閉清洗均勻。
8、全封閉外殼與抽風系統,確保良好工作環境。
應用范圍:
多晶硅超聲波清洗加工設備,可廣泛用于IC生產及半導體元器件生產中晶片的濕法化學工藝。該設備可有效去除晶片表面的有機物、顆粒、金屬雜質、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。
爐前(RCA)清洗:擴散前清洗
光刻后清洗:除去光刻膠。
氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所胡的沾污物。
拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。
外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。
合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質及光膠殘渣。
離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。
擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSG和PSG。
CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。
附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。
技術參數:
超聲波功率:10.2KW
超聲波頻率:40K/80KHZ
換能器數量:204個
電源電壓:三相五線380V
技術優勢:
因清洗多晶硅需放置于清洗籃/網袋中,網袋會吸能及阻擋部分超聲波,本機采用中高頻超聲波清洗機。中頻超聲能迅速徹底的將污漬震出,高頻超聲能深入縫隙清洗,本機具備中頻超聲波轟擊強度大,清洗速度快的特點,具備高頻超聲穿透性好,密度高的特點,便于穿透網袋作用到產品上,同時增加了加熱功能,產品在熱水中清洗更容易將污漬化開而去除,清洗完成后只需將放水閥打開放出污水即可。
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