活性碳吸附法系利用高性能活性碳吸附(adsorbent) 固體本身的表面作用力，將VOC分子之吸附質(adsorbate)吸引附著在吸附劑表面，以達到去除VOC物質之目的。   活性碳吸附法在低濃度VOC條件下，可以理想地去除廢氣中揮發性有機物，同時有較佳的經濟效益。故在空氣污染物控制方面，特別適用處理含低濃度VOC之廢氣，例如半導體廠、LCD廠、PCB廠與相關電子廠等。   依照吸附劑與吸附物質問吸引力的不同，吸附法之機制包括有藉由物質間凡得瓦爾力作用之物理吸附及利用產生化學鍵結合之化學作用。其中物理作用為一可逆現象，常被用來由改變壓力或溫度破壞此平衡，以再生吸附劑并回收吸附物質，例如蒸氣再生、化學氧化再生、微波再生等；化學作用為高放熱反應且通常為不可逆反應。