特點
?高精度CNC輪廓／形狀測量裝置。
?X1, (Y)和Z2的驅動速度都高達200mm/s，確保實現高速定位，從而大大提高了多
輪廓測量和多工件測量任務的速度。
?帶有a軸的型號，可以通過電動旋轉X1軸連續測量水平面和傾斜面。
?帶有Y軸的工作臺的型號可以沿著Y軸進行多種工件定位，從而擴大了多工件測量范圍。
?可以通過同時控制X, Y兩軸，對斜面進行測量。
?Z1軸檢測器集成了防碰撞安全裝置，當主機和工件或夾具碰撞時，檢測器將自動停止。
?提供易于操作的遙控箱，用戶可以通過這兩個操縱桿選擇合適的軸進行移動。在按鍵上標有易于理解的圖形顯示軸的選擇狀態。
?通過USB與數據處理／分析裝置(選件)進行信息交換
技術參數
X1軸
測量范圍: 200mm
分辨率: 0.05μm
測量方法:反射型光柵尺
驅動速度:最大200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操縱桿)
測量速度: 0.02 - 2mm/s
測量方向:向前／向后
直線度: 2μm/200mm
*當X軸在水平方向上
指示精度:±(1+4L/200)μm, (20°C時) * L為驅動長度(mm)
a軸
傾斜角度: -45°至+10°
分辨率: 0.000225°
旋轉速度: 1rpm
Z2軸(立柱)
垂直行程: 300mm或500mm
分辨率: 0.05μm
測量方法:反射型光柵尺
驅動速度:最大200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操縱桿)
Z1軸(檢測器)
測量范圍:±25mm
分辨率:0.05μm ,
測量方法: laser hologage (CV-4100CNC) ,
指示精度:±(0.8+I0.5HI/25)μm (20°C時) *H為水平位置上的測量高度(mm)
探針上／下運作:弧形運動
探針方向:向上／向下
測力: 30mN
跟蹤角度:向上：70°、向下：70°(根據表面粗糙度，使用標準單切面探針)
探針針尖半徑：25μm、硬質合金針尖
基座尺寸(W x H): 750 x 600mm
基座材料:花崗巖