反滲透水處理設(shè)備（膜分離）技術(shù)的應(yīng)用使反滲透超純水設(shè)備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器得到了一次進(jìn)步。 　　近年來開始在國外推廣應(yīng)用的ＥＤＩ（電去離子）技術(shù)，則是超純水制造技術(shù)的一次革命，從此進(jìn)入了一個(gè)無需再生化學(xué)品，而能生產(chǎn)出高達(dá)１８ＭΩ·ＣＭ的超純水，用于半導(dǎo)體、集成電路等行業(yè)。　 　　反滲透超純水設(shè)備是采用專用ＲＯ技術(shù)設(shè)計(jì)，關(guān)鍵部件、設(shè)備采用進(jìn)口名牌產(chǎn)品，工藝先進(jìn)，質(zhì)量可靠，可擴(kuò)展性強(qiáng)，結(jié)構(gòu)合理占地小，水利用率高，能耗低，全自動(dòng)化運(yùn)行，操作維護(hù)簡單。一般產(chǎn)水下限０．２５ｍ３／ｈｒ，上限不限，水回收率一般可達(dá)７５％以上，脫鹽率＞９８％。產(chǎn)水量隨進(jìn)水溫度下降和反滲透膜老化或受污染有一定變化。 　　反滲透超純水設(shè)備典型工藝流程為：　 １：　預(yù)處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈－純水泵－用水點(diǎn)　 ２：　預(yù)處理－一級(jí)反滲透－二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵－紫外燈－用水點(diǎn) ３：　預(yù)處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－ＥＤＩ裝置－純化水箱－純水泵－紫外燈－用水點(diǎn) ４：　預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級(jí)ＲＯ裝置→二級(jí)ＲＯ裝置→中間水箱→ＥＤＩ裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除ＴＯＣ　ＵＶ裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點(diǎn) 　　水質(zhì)符合美國ＡＳＴＭ標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（１８ＭΩ＊ｃｍ，１５ＭΩ＊ｃｍ，２ＭΩ＊ｃｍ和０．５ＭΩ＊ｃｍ四級(jí)）