位移傳感器 高精度激光位移傳感器 激光傳感器  激光位移傳感器

ZLDS/N-100是一款非接觸式高精度光學位移傳感器，具有100微米的量程和15納米的分辨率。位移傳感器的起始測量距離是3mm，對于被測體有較寬的適用范圍，比如金屬，半導體和玻璃。該傳感器可以很容易與現有設計相接合，而且具有較大的基準距，位移傳感器可以相當于一個高分辨率的電容傳感器。對于定點測量，振動測量，表面輪廓測量，ZLDS/N-100位移傳感器都是一款理想的測量工具。
  
位移傳感器應用領域：
應用于光盤、硬盤的在線檢測，還可以應用于電機等強磁場測振和表面輪廓測量。

位移傳感器主要特點：
高分辨率，可替代電容式傳感器；
對電磁場不敏感，可用于電機等強磁場測振；
寬頻帶，可測高頻振動體；
位移傳感器對被測體表面要求低，反射率4～100%均可用；

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技術規格：
技術參數 ZLDS/N-100
量程μm 100
分辨率nm 15
線性度μm ±5
重復性nm ±75
信號接收范圍μm ±400
帶寬KHz 100
允許表面反射度% 4～100
傳感器探頭基準距mm 3.0
垂直容忍度 ±0.1°
供電 ±12VDC @80mA
傳感器體長mm 58.7
測量點直徑μm 100
控制器尺寸mm 98x32x13
電纜長度mm 460
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