化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用領(lǐng)域

化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理。

化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

產(chǎn)品型號(hào)/規(guī)格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

裝載重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

最高溫度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

溫度均勻性(℃)

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

加熱功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

極限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

壓升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67