微電子氧氣純化設備半導體氮氣純化設備封裝線氮氫混合氣體配比器采用德國原裝進口的質量流量計和質量流量變送器為主體的全自動氫氮配氣設備，在PLC內完成自編程序，壓力傳感器和氣動閥門的控制下，質量流量計計算氮氣輸出流量后數據傳送給質量流量變送器嚴格控制氫氣的注入量，忽略原氣壓力，流量變化，在混合氣使用點始終得到精確配氣，混合氣輸出端氫氣分析儀監控，驗證混合氣中氫含量，觸摸屏完成數據采集，所有參數清晰可見，更換配氣比例，一鍵完成，一鍵儲存，設備有聯鎖互鎖功能，杜絕誤操作，數據輸出端設有485接口，聯機可以完成數據遠傳，遠程控制。

  本裝置以工業普氧為原料氣，經催化冷卻，二級吸附，精密過濾的方法除去氧中微量雜質氫，甲烷，一氧化碳，二氧化碳，水汽和塵埃獲得高純度的氧氣。

        微電子氧氣純化設備半導體氮氣純化設備封裝線氮氫混合氣體配比器本產品結構簡單，系統氣密性良好，所用催化劑（可視原料氣的雜質含量來調整工作溫度）可長期使用無需再生，二級雙塔并聯結構的干燥器延長了干燥器再生時間，再生設定周期168小時，節能高效，最大限度的保證了純氣的品質，高效吸附劑可在產品內再生后重復使用。適用于需要大量高純氧氣半導體、光纖、顯像管等主要生產部門。 

微電子氧氣純化設備半導體氮氣純化設備封裝線氮氫混合氣體配比器技術指標

原料氣：液氧

處理氣量          10Nm3/h

工作壓力          1.6Mpa

原料氧的純度：＞  99.7%

純化后：          CH4＜0.3ppm          CO2＜0.2ppm     

        H2O＜1.5ppm          塵埃  顆粒≤3.0粒/升（100級）

      裝機功率：      380V          5KW

微電子氧氣純化設備半導體氮氣純化設備封裝線氮氫混合氣體配比器設備售后服務與質量保證

1、保修期 

                  設備的保修期為1年，在此期限內，供方所提供的設備及部件因質量問題所出現的破損維修或更換所發生的費用由供方承擔。由于錯誤操作及使用不當而造成的設備破損或更換，所發生的費用由用戶承擔。在保修期后，供方提供終身優惠的有償的設備維修服務。

2、現場操作，維修人員的培訓

    供方負責培訓操作人員能熟練操作設備；

維修人員掌握設備的日常和維修工作；

用戶走訪

在保修期內不少于一次。

檢查設備運行狀況，給用戶提供合理化建議。

微電子氧氣純化設備半導體氮氣純化設備封裝線氮氫混合氣體配比器、故障排除

微電子氧氣純化設備半導體氮氣純化設備封裝線氮氫混合氣體配比器接到用戶設備出現故障的信息后，當日給用戶明確答復。72小時內恢復正常供氣。

5、其它服務

5.1）建立用戶檔案，協助用戶進行設備管理；

5.2）定期提醒用戶更換易損件，檢查設備及注意事項；

5.3）定期進行產品使用跟蹤服務調查及售后服務意見征詢；