原料空氣自大氣  吸入，經(jīng)空氣過濾器清除其機械雜質(zhì)，然后通過空氣透平壓縮機增壓至一定壓力，經(jīng)空氣預冷機冷到8℃左右，經(jīng)水分離器分離游離水進入分子篩純化器，除去空氣中二氧化碳與水份以及大多數(shù)碳氫化合物。
再進入分餾塔系統(tǒng)，在主換熱器中與返流氣進行換熱，經(jīng)換熱后的空氣入精餾塔下部，參與精餾；在塔底部獲得富氧液空，塔頂獲得氮氣。
液空被引出經(jīng)過冷器過冷后，節(jié)流入冷凝蒸發(fā)器作冷源，與塔中上升的氮氣進行換熱，液空被蒸發(fā)，氮氣被冷凝，冷凝的液氮大部分作為分餾塔的回流液，參與精餾。小部分作產(chǎn)品進入貯液罐，再進入液氮貯槽。
產(chǎn)品氮從塔頂部抽出后，入熱交換器復熱后排出塔外去氮壓系統(tǒng)到用戶；裝置所需的冷量，由一組兩臺透平膨脹機提供。
從主冷抽出的富氧空氣經(jīng)過冷器及主換熱器下部復熱到一定溫度進入膨脹機膨脹制冷，再入主換熱器與正流空氣進行換熱，空氣被冷卻；富氧空氣復熱后排出塔外，作純化器再生氣源，出來后與多余的一起到富氧增壓系統(tǒng)去用戶。
分子篩純化器由兩只存滿分子篩的容器組成，一只工作另一只再生，切換使用。
當制氮設(shè)備故障停車時，可啟動液氮泵加壓，當全部停電時可往中壓液氮貯槽,再經(jīng)氣化器氣化復熱到常溫后入中壓貯氣罐，供用戶使用。