六氟化硫（SF6）在常態(tài)下是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕性的氣態(tài)物質(zhì)，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定性強，具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能。其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，在0.25MPa下與油的擊穿電壓相等，中等壓力、同樣條件下電暈放電的起始電壓是空氣的2倍，是一種優(yōu)于空氣和油的新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料，被廣泛用于電氣設(shè)備的斷路器、組合器、變壓器、大容量電纜、避雷器、X光機、離子加速器、示蹤分析和有色冶煉等方面。高純SF6在半導(dǎo)體工業(yè)中，用作等離子刻蝕劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源，在制造低損耗優(yōu)質(zhì)單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準分子激光器的滲加氣體。在環(huán)境檢測及其他部門用作標準氣或配制標準混合氣。