超純水被廣泛應用于電子、電力，化工，電鍍，鍋爐及醫藥等行業。
、1.蒸餾水：
 
2、去離子水：
應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，是運用時間較長的一種傳統用來制取純水的工藝方法，經處理后可獲得一定純度的超純水，
3、反滲水：
其生成的原理是水分子在壓力的作用下，通過反滲透膜成為純水，水中的雜質被反滲透膜截留排出。反滲水克服了蒸餾水和去離子水的許多缺點，利用反滲透技術可以有效的去除水中的溶解鹽、膠體，細菌、病毒、細菌內毒素和大部分有機物等雜質。 
 
4、超純水：
其標準是水電阻率為18.2MΩ-cm。制取超純水的最新工藝常采用反滲加離子交換混床或反滲透加電去離子（EDI）來制取，而后者相對前者更經濟更環保。 
5.超純水的水質標準 
·2000版藥典標準
·GMP標準
·電阻率：≥15MΩ.CM
·電導率：≤0.5μS
·氨≤0.3μg/ml
·硝酸鹽≤0.06μg/ml
·重金屬≤0.5μg/ml