有機廢氣（VOCs）是指苯、醇、酯、酚、醛、醚、酮及惡臭氣體等，電子器材、機械電氣、汽車、船舶及化工建材等行業均在生產工藝中有大量的有機廢氣排放。催化燃燒是在180~500℃的環境下，廢氣在催化劑表面進行催化氧化轉換成CO2、H2O等產物，凈化效率高達90~99%，無二次污染（NOx）。催化氧化技術的基本原理是：利用不同有機物在不同特征催化劑表面接觸發生氧化反應所需能量，大大小于其直接氧化所需能量的基本原理；將有機廢氣處理設備的工作溫度降至氣源溫度，使運行能量得到大幅度的節約。高溫焚化（TO）時由于高溫使空氣中的氮氣與氧氣發生較強的氧化反應產生新的二次氣態污染物-氮氧化物（NOx），而催化氧化（CO）的低溫反應條件有效地控制了NOx的產生。