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機型\項目 TG5 TG6-9
鍍膜室規(guī)格 ? ?700mm -800mm *800mm -880mm ?900mm -1000mm *1000mm -1200mm
極限真空度 ? ≤7.6×10-4Pa
冷態(tài)抽真空時間 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 ?
機組配置 KT-400擴散泵機組 KT-400擴散泵機組
或KT-500擴散泵機組 KT-600擴散泵機組
靶配置 5個電弧靶1個磁控靶 6-9個電弧靶2個磁控靶 2個大面積弧靶2對孿生靶
配電要求 ? 40KW 50KW 60KW
備注 可根據(jù)用戶產(chǎn)品、產(chǎn)量、膜層特殊要求設計制造非標設備
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