工業純水機由預處理系統、精處理系統、后處理系統三大部分組成。原水經PP濾芯（砂棒過濾器）、活性炭單元、軟水器單元等預處理系統后，使水中的懸浮物（顆粒物質）、膠體、有機物、硬度、微生物等雜質含量大大降低，以減輕后續的反滲透、電除鹽等精處理系統的處理負荷，延長其使用壽命。
活性炭單元
  活性炭的比表面積很大，且布滿了孔徑極小（10～30埃）的微孔，對有機物膠體、余氯、鐵離子等有明顯的吸附濾除作用。臺式純水機、凈水器等常用10寸/20寸活性炭濾芯。大型純水機組常用玻璃鋼/不銹鋼材質的活性炭濾罐。 
軟水器單元
  大中型純水系統常使用全自動軟水器以除去原水中的鈣鎂離子。全自動軟水器由鈉離子樹脂罐、再生鹽箱及多路控制閥組成，能夠設定程序控制運行，自動再生（時間型/流量型兩種控制方式），再生時利用虹吸原理吸鹽，再注水化鹽，再生時間通常為2小時。 
  小型臺式純水機一般使用10寸/20寸軟水樹脂濾芯來降低原水硬度。 
反滲透單元
  RO（Reverse Osmosis）反滲透技術是利用壓力表差為動力的膜分離過濾技術，源于美國二十世紀六十年代宇航科技的研究，后逐漸轉化為民用，目前已廣泛運用于科研、醫藥、食品、飲料、海水淡化等領域。 
  RO反滲透膜孔徑小至納米級（1納米=10-9米），在一定的壓力下，H2O分子可以通過RO膜，而源水中的無機鹽、重金屬離子、有機物、膠體、細菌、病毒等雜質無法通過RO膜，從而使可以透過的純水和無法透過的濃縮水嚴格區分開來。 
  RO膜對高價離子、膠體、細菌及分子量大于300 dalton的有機物質（包括熱源）去除率高達99%以上，對低價離子（NA+、K+）去除率達95%，當源水電導率<3505μs/cm，RO純水電導率通常≤55μs/cm，符合國家三級用水標準。再經過原子級離子交換柱循環過濾，出水率可達18.2MΩ.cm。 
  反滲透法是可達到90%～99%雜質去除率最經濟的方法，同時也是試劑級超純水系統最好的前處理方法。 
備注
  RO膜的過濾能力受水溫影響較大，最適合的水溫為25℃～30℃，溫度下降1℃，RO膜的產水量約下降3%，當水溫接近0℃時，RO膜將停止產水。 
超濾器單元
  超濾膜又稱為中空纖維超濾膜。孔徑介于反滲透和微濾之間，約0.01～0.1μm，常用作純水系統的后處理裝置，可用于截留溶液中各種微粒、大分子溶質、細菌、病毒、熱原等。超濾膜的孔徑是由一定分子量的物質進行截留試驗測定的，并以分子量的數值來表示，能夠濾除熱原的超濾膜的分子量通常為6000道爾頓（dalton）。 
紫外儀單元
  紫外線是一種肉眼看不見的光波，存在于光譜紫外線端的外側，故稱之為紫外線，依據不同的波長范圍，被割分為 A 、 B 、 C 三種波段，其中的 C 波段紫外線波長在 240 － 260nm 之間，為最有效的殺菌波段，波段中之波長最強點是 253.7nm。 
  當紫外線設備產生的足夠劑量的強紫外光照射到水、液體或空氣時，其中的各種細菌、病毒、微生物、寄生蟲或其它病原體在紫外光 UV-C 的輻射下，細胞組織中的 DNA 、 RNA 被破壞，從而阻止子細胞的再生 ，紫外線消毒設備在不使用任何化學藥劑的情況下，較短時間內（通常為 0.2-5 秒）殺滅了水中、液體或空氣中 99.9% 以上的細菌和病毒。科學試驗證明，波長在 240-280nm 的紫外線具備有高效殺菌功能。 
  現代紫外線消毒技術是基于現代防疫學、光學、生物學和物理化學的基礎上，利用特殊設計的高效率，高強度和長壽命的 C 波段紫外光發生裝置，產生的強紫外 C 光照射流水（空氣或固體表面），當水（空氣或固體表面）中的各種細菌、病毒、寄生蟲、水藻以及其它病原體受到一定劑量的紫外 C 光輻射后，其細胞中的 DNA 結構受到破壞，從而在不使用任何化學藥物的情況下殺滅水中的細菌、病毒，以及其它致病體，達到消毒和凈化的目的。 
  紫外線殺菌器以 304 或 316L 不銹鋼作主體材料，以高純石英管作套管，配合高性能的石英紫外線低壓汞消毒燈管，具有殺菌力強，壽命長、支行穩定可靠等優點，其殺菌效率≥ 99% ，進口燈管使用壽命≥ 9000 小時。 
紫外線殺菌
  紫外線是一種肉眼看不見的光波，存在于光譜紫外線端的外側，故稱之為紫外線，依據不同的波長范圍，被割分為 A 、 B 、 C 三種波段，其中的 C 波段紫外線波長在 240 － 260nm 之間，為最有效的殺菌波段，波段中之波長最強點是 253.7nm。 
  紫外線殺菌的原理一般認為是生物體內的核酸吸收了紫外光的能量而改變了自身的結構，進而破環了核酸的功能所致。當核酸吸收的能量達到致死