潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

  一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區之后，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

  潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

編輯本段六、潔凈室之構成

  潔凈室的構成是由下列各項系統所組成（在所組成的系統分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室：

  ⑴天花板系統：包括吊桿（Ceiling
rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或
Ceilingframe）。

  ⑵空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風車等。

  ⑶隔墻板（Partitional
wall）：包括窗戶、門。

  ⑷地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

  ⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

  潔凈室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：

  A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；

  B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；

  C.吸濕性小；

  D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。