豐臺正壓潔凈室 豐臺負壓潔凈室豐臺防靜電潔凈室空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器（HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。  定義：豐臺正壓潔凈室 豐臺負壓潔凈室 豐臺防靜電潔凈室氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。  特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）  ⑴自凈時間：是指潔凈室按設計換氣次數開始送風到潔凈室，室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。1,000級希望不超過20min（分鐘）（可取15min計算） 10,000級希望不超過30min（分鐘） （可取25min計算）100,000級希望不超過40min（分鐘） （可取30min計算）  ⑵換氣次數（按上述自凈時間要求設計）1,000級43.5—55.3次/小時 （規范：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規范：25次/小時）100,000級 14.4—19.2次/小時 （規范：15次/小時）  優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。 缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。層流式（Laminar)  豐臺正壓潔凈室豐臺負壓潔凈室 豐臺防靜電潔凈室層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：  ⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下側污染較嚴重。  優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。  缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。  ⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。  優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。  缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩