適用于：2-6寸晶圓刻蝕清洗 產(chǎn)品規(guī)格 控制模式：半自動控制（工件搬運為手動操作，工藝參數(shù)控制過程為自動） 總體規(guī)格： 1400mm(L)×1000mm(W)×2000mm(H) 工件：2-6寸晶圓 產(chǎn)能：25片/槽 可按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計 電源：380V，50HZ，2KW 純水：CL-PVC 進(jìn)口DN25 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:2m3/h 抽風(fēng)口：φ200*1 抽風(fēng)量MAX: 700m3/h ，風(fēng)量口裝有蝶閥，可手動調(diào)節(jié) CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:0.5m3/h N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:2m3/h 設(shè)備特點： 1. LED清洗設(shè)備骨架為SUS304外包3mmPP，外殼采用德國進(jìn)口PP-W板焊接； 2. LED清洗設(shè)備采用 “PROFACE”觸摸屏人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制； 3. LED清洗設(shè)備槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控裝置； 4. LED清洗設(shè)備的藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發(fā)，污染； 5.LED清洗設(shè)備清洗區(qū)域配有高效過濾器，無二次污染機(jī)會； 6.LED清洗設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過耐腐蝕PE 管進(jìn)行保護(hù)，防腐防水； 7.LED清洗設(shè)備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤，有效防止設(shè)備漏液損害廠務(wù)地板； 8.用戶操作人員上料后，全過程自動化控制，減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動化程度高、運行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點； 9.LED清洗設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計，確保人身和廠務(wù)安全；