適用于：2-6寸晶圓清洗 產(chǎn)品規(guī)格 控制模式：半自動控制（工件搬運(yùn)為手動操作，工藝參數(shù)控制過程為自動） 整機(jī)尺寸：約2000mm（L）×1200mm(W)×1800mm(H) 操作臺面高度：850±20mm 工件：2-6英寸晶圓 產(chǎn)能：25片/槽，50片/槽可按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計 電源：380V 三相五線制，50HZ，5KW 純水：CL-PVC 進(jìn)口DN25 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:1m3/h 抽風(fēng)口：φ200*1 抽風(fēng)量MAX:1000m3/h ，風(fēng)量口裝有蝶閥，可手動調(diào)節(jié) CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:1m3/h N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:1m3/h 設(shè)備特點(diǎn)： 1.led清洗設(shè)備骨架采用國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)Q235A 骨架外包3mm 厚PP-W 板保護(hù)；外殼采用10mm 厚德國勞士領(lǐng)PP-W 板焊接而成； 2. led清洗設(shè)備采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制； 3. led清洗設(shè)備的槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控裝置； 4. led清洗設(shè)備的藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發(fā)，污染； 5.led清洗設(shè)備清洗區(qū)域配有高效過濾器，無二次污染機(jī)會； 6.led清洗設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過耐腐蝕PE 管進(jìn)行保護(hù)，防腐防水； 7.led清洗設(shè)備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤，有效防止設(shè)備漏液損害廠務(wù)地板； 8.用戶操作人員上料后，全過程自動化控制，減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動化程度高、運(yùn)行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點(diǎn)； 9.led清洗設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計，確保人身和廠務(wù)安全；