1.OLED濕制程設(shè)備采用純水隔離式或風(fēng)簾隔離式 2.OLED濕制程設(shè)備具有清洗液在線分析檢測系統(tǒng) 3.OLED濕制程設(shè)備采用全自動配液補液系統(tǒng) 4.OLED濕制程設(shè)備具有玻璃基板清洗后表面與平縫不得有水跡與污染物，清洗玻璃基板表面不能有灰塵、殘留物、玻璃碎片、油污 的特點 5.OLED濕制程設(shè)備具有全程自動控制，工藝生產(chǎn)過程中不用人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性 多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲 的特點 6.OLED濕制程設(shè)備有客制化設(shè)計能力佳，高設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要的特點