TFT-LCD生產潔凈廠房凈化空調系統設置中的幾個問題(凈化知識) 
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(1) 新風處理
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1、TFT-LCD生產潔凈廠房的凈化空調系統的新風處理,一般采用集中方式處理,空氣處理裝置采用組合式空調機組,機組功能設置有:新風入口；初效過濾器；中效過濾器；預熱盤管；預冷卻盤；淋水室；除濕冷卻盤管；再熱盤管；風機；高效過濾器；新風出口。
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(2) 冷熱源節能選擇
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熱源： 一個月產90K的5代TFT-LCD生產線的潔凈室面積約為:10萬M2,其凈化空調系統的新風量約為1920000M3/H,新風機組處理后的參數:溫度14oC,相對濕度95%,為使全年各個季節都能確保上面的新風參數,需消耗大量的能量,因此合理選擇新風機組的冷熱源供應,為TFT-LCD工廠運行過程降低能量消耗創造條件。具體TFT-LCD工程的熱源應根據當地條件認真分析選擇。為確保TFT-LCD潔凈廠房室內溫度，通常表冷器要使用14/19oC冷水，即制冷機在冬季或過渡季仍需運行，為了減少熱能消耗，降低能源費用，可將冷凍機制冷過程式的冷凝熱充分利用，用于加熱盤管的加熱，在制冷站設計時，采用帶熱回收的冷凍機組，可提供的50/45oC或45/40oC熱水。
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冷源：TFT-LCD潔凈廠房新風機組的預冷盤管、除濕盤管和干盤管，一般采用兩種水溫的冷凍水，從節能考慮，預冷盤管和干盤管采用水溫高于潔凈室內空氣露點溫度的冷水，一般為14/19oC；為了保證室內的相對濕度，除濕盤管采用7/13oC。因此，根據具體工程的規模，設備配置等因素，可采用2種冷凍水供水溫度的制冷機，由于冷凍機出水溫度提高，可提高冷凍機COP值，可以達到節能的目的。
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（3）加濕及相對溫度控制
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新風加濕采用純水制備過程的一級反滲透水淋洗，既可確保生產區的相對溫度，又可以去除空氣中對和產有害的雜質氣體。
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潔凈室的相對溫度是由新風機組保證，它是通過設在新風處理機組出口的露點溫度控制除濕冷盤管的冷凍水供水量和預熱盤管的熱水流量，且機組出口的露點溫度還應根據其對應送風區域內實時檢測的溫度進行連續的整定，從而確保潔凈室（區）的相對濕度。
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（4）潔凈室（區）的壓力、溫度控制
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TFT-LCD生產用潔凈室（區）的壓力，一般控制在30Pa,該壓力通常是由凈化空調系統供應的新風量進行控制。控制的方法是新風機組采用變頻風機，該風是以潔凈室（區）內的正壓值控制風機轉速以確保必需的新風量。目前在5代TFT-LCD生產線，對生產環境參數（空氣潔凈度、壓力、溫濕度等）的可靠性有較高的要求，因此新風處理機組應設