三坐標測量機的測量過程雖然針對不同的零部件，會有些許的變化，不過大致的測量過程可以概括為：測頭的選擇和校對，裝夾工件，建立坐標系，測量檢測，輸出檢測報告。
    1. 測頭校驗。
      a)定義測頭文件名
      b)定義測座
      c)定義測頭的轉換
      d)定義加長桿和測頭
      e)定義測針
      f)添加測頭角度
      g)測頭校驗
    在測頭校驗過程中測點最少為5個，測量中所有的測針都要進行校準，一旦測針被取下或改變位置重新使用，要重新校準。
    2.裝夾工件。
    在測量時盡量采用一次裝夾來完成所需要數據的采集，以確保工件的測量精度，減少因多次裝夾而造成的測量誤差。一般選擇工具的端面和覆蓋面大的表面做為測量基準，如果已知被測工件的加工基準面，則因以此加工基準面作為測量基準。
    3.建立坐標系。
    工件坐標系的建立方式有很多種，建立方式還取決于零件類型和零件所擁有的基本集合元素情況，其中最常用的是通過點、線、面特征來建立坐標系。
    4.測量特征。
    三坐標測量儀測量特征的方法有兩種：手動測量、自動測量。
    1)手動測量即利用操作桿控制測頭運動進行測量，測量的特征元素一般為點、直線、圓、平面、圓柱、圓錐、球等。
    2)自動測量是在CNC測量模式下，按照預先編寫的好的測量程序控制三坐標測量機進行自動檢測。對于每一個特征測量的精確性可以通過接觸測點精度的提高而提高，對于這一方面來講，自動功能的使用的尤為重要。
    通過對零件的公差逐一的檢測形成特征群，然后我們對各個特征再進行逐一的公差評價，形成公差檢測結果。
    5.輸出檢測報告。
    測量評價完成，軟件可以輸出多種形式的檢測報告，我們可以根據具體的要求選擇所要的測量結果，最后將報告保存并打印出來。