硅晶圓干燥烘烤專用class10級無塵室烘烤箱

一、雙層無塵烘箱產品概述:

本產品是參照GB/T11158-1989，GB2423.2-1989干燥箱技術條件及國家相關標準研究制造，廣泛應用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

二、雙層無塵烘箱主要技術指標：

2.1產品型號：COL-2D(雙箱)

2.2無塵等級：Class  10

2.3溫度范圍：  +60～  +300℃；

2.4升溫速度：常溫～+200℃，升溫速度> 6℃/min    ，降溫速度  3℃/min(適用于150℃～80℃)

2.5溫度均勻度：±2.5℃ （空載）

2.6溫度精確度：±1℃（空載）

2.7工作室尺寸：W700×H500×D600

2.8電        源：380v  ，  50Hz

2.9環境條件：溫度  5～40℃；濕度  ≤85%R.H

2.10氣壓：86～106Kpa

三、雙層無塵烘箱箱體結構：

3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風道系統部分組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；

3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；

3.3箱體材料：SUS304#不銹鋼板； 

3.4內膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生  PARTICLE； 

3.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3.6  保溫材料：采用正廠中央玻璃纖維公司出品，100K級高密度高保溫板制造。 

3.7電熱器：采進口覆套式電熱器  (SHEATHED  HEATER)無塵化電熱發生器。

3.8潔凈度：烤箱內部均采無塵化配件及材料。

雙層無塵烤箱熱線：021-37693997，15221744475  傳真:021-37832075聯系人：蔣鑫，

網站：www.done-e.com.