主要特點：
HIS 13 
HIS 13高強度紫外光源具有極高的光強、優秀的He II/He I比、和極小的離散角。壓電點火裝置、對準和點火控制觀察窗、以及內置的皮拉尼計等使操作變得十分簡便。另外還可以根據需要選配超環面反射聚焦鏡和線性極化器等。 DAR 400 DAR 400雙陽極X光源具有可靠、穩定的性能，可以提供高強度、低干擾的Al Ka或Mg Ka X射線。其最大功率可達400 W，而且設計有高性能的水冷，避免了對樣品的加熱效應，同時延長使用壽命。 

XM 1000 XM 

1000是最新型的單色X光源。500mm直徑羅蘭圓、四塊石英晶體和300W/600W雙工作模式的設計使XM 1000不但具有極小的展寬，同時具有極高的X光強度。可以大大提高XPS分析中的能量分辨率和靈敏度。

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